RF Generator 射频电源系列产品

当空间有限但性能至关重要时，稳定可靠且结构紧凑的j9九游会入口官方RFG1250是您的最佳解决方案。

应用领域：
适用于泛半导体产业、光伏产业、LED产业、面板显示器产业、工业制造、医疗健康产业、科学实验等领域。
适用于PVD、CVD、PECVD、ALD、等离子体刻蚀、等离子体清洗等工艺。
 
产品特点：
> 全数字控制系统
> 高稳定度和精度输出功率
> 结构紧凑，集成度高，易替换其他机型

可替代产品：
> AE APEX 同级别产品
> AE CASER 同级别产品
> AE RFG 同级别产品
> MKS\ENI OEM同级别产品

> 市面上大部分13.56Hz 1KW射频电源

FAST MATCH 射频匹配器 

j9九游会入口官方自动匹配器高速、高效、高稳定的匹配性能，适用于要求苛刻的高速匹配应用

Microwave Generator 微波发生器 & 磁控管

j9九游会入口官方微波电源是一款基于IGBT高频逆变技术的新型微波电源。

应用领域：
主要用于半导体ALD镀膜、光刻胶去除、微波等离子体刻蚀、微波等离子体去胶、人工钻石等工艺。
 
产品特点：
> 全数字化模式，控制精确，稳定性好
> 稳定的灯丝控制，可延长磁控管寿命
> IGBT高频高频开关电源

可替代产品：
> ASTEX C13170 等同级别产品
> MKS F120160 等同级别产品
> MUEGGE 等同级别产品

Remote Plasma Source 远程等离子体源

独特腔体设计和超长使用寿命，是真空腔体清洁的理想之选

应用领域：
主要用于清洁CVD、PECVD和PEALD腔体及半导体厂芯片制造和液晶面板的生产制造
 
产品特点：
> 8 slm NF 流量，清洁时间更快
> 解离 >95%，清洁效果更高效
> 独特的发生腔体设计，寿命更长
> 体积小，集成度高，灵活配置

可替代产品：
> MKS Paragon AX7710 8L
> 其他 8L 同规格产品

Circulation Pump 温控循环泵

循环液的温度、流量和压力进行高精密控制，使涂胶显影机台散热、冷

应用领域：
温控循环泵是涂胶显影机台中TCU温度控制单元必不可少的部件之一。
 

产品特点：
> 变温速率更快
> 运行温控精度可达到±0.2℃
> 客制化定制、灵活配置

HV Plate 高压盘

将电流通过倍压整流，滤波将电压倍数提升后输出

应用领域：
高压电源核心组件，主要应用于离子注入、X射线发生器、束流焊、科研等领域
 
产品特点：
> 良好的耐击穿绝缘性能
> 大电流倍压耦合电容损耗低
> 专业真空脱泡技术

可替代产品：
>Hitck Power OL8000原厂已停产组件

Dummuy Load 假负载

应用领域：
常用于射频发生器的功率消散、校准、操作规程和日常检查
 
产品特点：
> 工作频带宽 
> 驻波比系数低
> 抗脉冲

可替代产品：
> Bird  Dummy Load